Физические основы микроэлектроники

Код: 319029

Краткое описание

Язык: 
Вес: 465 г
ISBN: 
9785769542275

Издательство: Academia
Автор: В. И. Марголин, В. А. Жабрев,
Серия: Высшее профессиональное образо
Страниц: 400
Переплет: 60x90/16
Год издания: 2008
Язык: Русский
Вес: 465
ISBN: 978-5-7695-4227-5

1 154 руб.
Под заказ

Информация о доставке

  • Доставим товар по всей России
  • Более 20 способов доставки
  • По МСК и СПб более 100 ПВЗ
Подробная информация 

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.

По серии

Подборка книг по серии

Рекомендуемые книги

Подборка рекомендуемых книг для Вас.

Контроль за качеством в промышленности